熱線:021-51696069

新聞資訊
News

銷售熱線
021-51696069
13524363286
點擊這里給我發消息

產品動態
您現在的位置:首頁 > 新聞資訊 > 氣相沉積實驗爐:氣相沉積實驗爐烘爐不夠勢必影響使用
氣相沉積實驗爐:氣相沉積實驗爐烘爐不夠勢必影響使用
發布時間:2019-08-02   點擊次數:965次
  氣相沉積實驗爐:氣相沉積實驗爐烘爐不夠勢必影響使用
 
  氣相沉積技術是利用氣相中發生的物理、化學過程,在工件表面形成功能性或裝飾性的金屬、非金屬或化合物涂層,按照成膜機理,氣相沉積技術可分為化學氣相沉積、物理氣相沉積和等離子體氣相沉積,隨著技術的不斷進步,氣相沉積被廣泛應用于刀具(硬涂層)、集成電路、介質隔離等領域。
 
  1、物理氣相沉積:物理氣相沉積是通過蒸發,電離或濺射等過程,產生金屬粒子并與反應氣體反應形成化合物沉積在工件表面,物理氣象沉積方法有真空鍍,真空濺射和離子鍍三種,目前應用較廣的是離子鍍。離子鍍是借助于惰性氣體輝光放電,使鍍料(如金屬鈦)氣化蒸發離子化,離子經電場加速,以較高能量轟擊工件表面,此時如通入CO2,N2等反應氣體,便可在工件表面獲得TiC,TiN覆蓋層,硬度高達2000HV。
 
  2、化學氣相沉積:將工件置于反應室中,抽真空并加熱至900~1100℃。如要涂覆TiC層,則將鈦以揮發性氯化物(如TiCl4)與氣體碳氫化合物(如CH4)一起通入反應室內,這時就會在工表面發生化學反應生成TiC,并沉積在工件表面形成6~8μm厚的覆蓋層。工件經氣相沉積鍍覆后,再進行淬火,回火處理,表面硬度可達到2000~4000HV。
 
  氣相沉積實驗爐為開式結構,爐體采用爐絲加熱的方式,并使用耐高溫陶瓷作為爐體材料,保證了其良好的加熱穩定性和溫度均勻性。該裝置中石英管兩端配置相應的法蘭接頭,可進行氣體處理以及真空處理,被廣泛應用于催化劑樣品的處理以及有機物的氣相沉積中,如應用于納米氮化物、納米氧化物、碳納米管、石墨烯等材料的生長研究中。
 
 
  
  氣相沉積實驗爐是一款比較常用的工業電爐,相比于傳統的工業電爐,氣相沉積實驗爐具有以下特征:
 
  1、氣相沉積實驗爐采用多溫區獨立控溫,溫度均勻性好;
 
  2、氣相沉積實驗爐采用特殊結構沉積室,密封效果好,抗污染能力強;
 
  3、氣相沉積實驗爐采用多通道沉積氣路,流場均勻,無沉積死角,沉積效果好;
 
  4、氣相沉積實驗爐對炭沉積過程中產生的焦油、固體粉塵、有機氣體等能進行有效處理。
 
  在氣相沉積實驗爐的使用中,尤其是首次使用,必須進行烘爐。烘爐的時間應為室溫200℃四小時。200℃至600℃四小時。使用時,爐溫最高不得超過額定溫度,以免燒毀電熱元件。禁止向爐內灌注各種液體及易溶解的金屬,馬弗爐最好在低于最高溫度50℃以下工作,此時爐絲有較長的壽命。
 
  氣相沉積實驗爐廠家概述:
 
  上海鉅晶精密儀器制造有限公司是由具備10多年研發和生產經驗的技術團隊于2013年8月8日注冊成立,注冊資金1000萬元。專業從事超高溫真空爐、工業爐、實驗電爐、硬度計、材料試驗機等材料制備檢測儀器的研發、生產和銷售;以先進的設計思路、精湛的制作工藝和強大的科研實力為軍工航天、研究所、大學、工廠企業從材料研發到規模生產提供整套解決方案。
 

Copyright @ 上海鉅晶精密儀器制造有限公司 All rights reserved. 技術支持:興旺寶明通 GoogleSitemap 滬ICP備16025132號-3

 
QQ在線咨詢
銷售熱線
銷售電話:
021-51696069
13524363286
點擊這里給我發消息
2018日本国产高清影院,久久亚洲中文字幕不卡一二区,99r精品视频在线在线观看,五月天开心婷婷中文字幕,337p日本欧洲亚洲大胆张筱雨,美女视频在线午夜福利在线看,老司机免费福利午夜入口,国产小视频你懂的在线欧美